隨著半導體集成電路技術的發展，對電子氣體的純度和質量要求越來越高，我國電子氣體目前發展目標是增加品種、增加產量、提高國產化率，并向完成對特氣生產及應用的全套技術開發的目標努力，技術包括：高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體純化、監測、充裝、輸送、貯存技術，以及安全、環保技術、現場配氣技術、回收與再利用技術等。

同時為提高混合氣使用效率，解決安全使用和運輸電子氣體，特別是高純氟氣的問題， 以推動綠色氣體的使用，以及滿足降低處理廢氣成本和環保要求，從而確定高純電子氣體發展方向為：綠色氣體、現場發生技術和回收技術。