特殊材料供應商Entegris今日宣布與中國湖北隨州的特殊化學品制造商湖北晶星科技股份有限公司(湖北晶星)簽訂協議，合作生產 Entegris 高純度沉積產品。這些高純度沉積產品包括 TEOS(硅酸四乙酯)，這種材料對于半導體制造領域采用的 3D NAND 技術至關重要，該技術用于生產速度更快的先進儲存設備與內存。

Entegris 特殊化學品和工程材料部門高級副總裁兼總經理 Stuart Tison 表示：“同湖北晶星的合作有利于 Entegris 在中國擴大產能，同時也縮短了中國市場的沉積材料供應鏈。”他還表示：“我們很榮幸成為第一家在中國實現大批量生產 TEOS 的跨國企業。Entegris UltraPur? TEOS 是 3D NAND 技術的關鍵材料，對于支持中國半導體產業的全面發展也具有重要意義。”

　　湖北晶星總經理 Ye Gang(葉剛)表示：“與 Entegris 的合作有助于我們全面提升高純度材料的生產能力和水平。此外，我們將會采用與目前 Entegris 流程相匹配的生產工藝，同時采用其質量控制體系，以保證產品的統一性。”