氣體圈子訊：近日，福建華誼三愛富氟佑新材料有限公司“三愛富（邵武）氟化學產業基地一期工程項目”環境影響評價第二次公示。該項目擬建于南平市邵武市金塘工業園三期沙塘平臺，項目分二期實施，一期工程建設內容及規模：50t/a 六氟丁二烯裝置、50t/aF2裝置、配套 36萬 Nm3/a 制氫裝置、3000t/a 六氟環氧丙烷裝置、200t/aPPVE、2000t/a 六氟丙酮裝置、1000t/a 雙酚 AF 裝置、1000t/a 六氟異丙醇裝置、500t/a 全氟聚醚裝置等九套及配套的公輔工程，本次評價內容為一期工程。

該項目是由上海三愛富新材料科技有限公司和福煤（邵武）煤業有限公司共同出資在福建省邵武金塘工業園區注冊成立的合資公司建造，合資公司（福建華誼三愛富氟佑新材料有限公司）中上海三愛富持股 80%、邵煤公司持股 20%。近幾年，上海三愛富積極實施“走出去”戰略。為進一步壯大公司實力，做大做強氟化工主業，上海三愛富在上級單位華誼集團公司的大力支持下，決定戰略性選址福建邵武市金塘精細化工園投資建設新的生產研發基地，和當地合作伙伴一起，依托當地優質螢石資源，建設涵蓋電子級氟化氫、中高端含氟聚合物、新型環保制冷劑、特種含氟精細化學品等氟化工產品在內的綜合性產業基地，以助力實現公司自身發展定位和目標。

六氟丁二烯（C4F6）又稱全氟丁二烯，作為下一代蝕刻氣體，被認為具有競爭優勢，它可取代CF4用于KrF激光銳利蝕刻半導體電容器圖形的干工藝。C4F6在先進制程技術層面有諸多蝕刻上的優點：它具有高選擇性和精確性、各向異性，適合對100 nm以下的電子線路進行蝕刻，性能較全氟碳氣體和NF3更好；C4F6與C4F8相比也具有更高的對光阻和氮化硅選擇比，這是很重要的兩個優點；此外環境方面也是一個非常重要的因素，C4F6的全球變暖潛能值(GWP)幾乎為0。有關專家指出，到目前為止，C4F6可能是唯一能提供所需蝕刻條件及減少排放的替代物。六氟丁二烯的合成路徑較為多樣化，但總結起來核心中間體可以分為六氟四氯丁烷、八氟二溴（碘）丁烷、三氟乙烯基氯（溴）化鋅三大類，起始原料為四氯乙烯、三氯乙烯及三氯甲烷等氯代烴以及HF、F2等含氟物。

六氟丁二烯（C4F6）是一種附加值高，市場前景廣闊的電子氣體。目前，主要由海外廠商及海外廠商在國內的子公司經營，韓國厚城、梅塞爾、關東電化和大陽日酸等在國內均有生產布局。國內也有不少企業開始對其開展研究，包括綠菱氣體、宇極科技、浙化院、派瑞特氣等，其中宇極科技和浙化院分別于2017年、2018年在氣體圈子主辦的特種氣體專業研討會上就六氟丁二烯（C4F6）開發流程、生產技術和市場前景做專業分享。

宇極科技賈曉卿博士在氣體圈子2017年研討會做分享

浙化院張金柯博士在2018年氣體圈子研討會做分享