液氬的生產工藝主要包括空氣分離、凈化處理、液化和精餾等步驟。

將空氣壓縮并冷卻至液化溫度，然后通過空氣分離裝置將液態空氣分離為液氧和液氮。

將液態空氣送入凈化處理系統，通過分子篩等材料去除雜質和水分，確保產品的純度。

液態空氣進入液化單元，通過低壓低溫的條件下將空氣中的氧氣和氮氣液化，分離出液氧和液氮。液氧和液氮的分離是通過它們的沸點差異實現的，液氮沸點較低，先被蒸發分離。

液氬的制備則是在液氧中進行的。液氧經過進一步的精餾過程，利用氬氣和氧氣沸點的差異，將氬氣分離出來。通過控制精餾塔的溫度和壓力，可以有效地分離出高純度的液氬。

液氬經過冷卻和儲存，在適當的溫度和壓力條件下保存，以保持其液態形態，直至使用或進一步處理。整個生產工藝流程要求高度自動化，確保產品純度和生產效率。