半導體行業全球領先的材料供應商Versum Materials, Inc. (NYSE:VSM)和致力于將原子設計材料設計并集成入氣體輸送、分離與凈化系統的先鋒企業NuMat Technologies宣布達成一項全球商業協議,旨在提供一個新的產品系列,以實現砷化氫、磷化氫和三氟化硼等摻雜氣體的安全儲存和輸送。該新產品系列名為ION-X?,它以突破性的金屬有機框架材料(MOF)為基礎,該材料在亞大氣壓下能夠選擇性地吸附、儲存和安全輸送超高純度氣體。ION-X?提供優于半導體設備制造離子注入工藝中所使用的傳統碳基吸附劑技術的性能優點。
Versum亞洲工藝材料總經理Jim Minicucci表示:“NuMat擁有專利MOF制造領域的專長,而Versum將利用其世界一流的全球業務覆蓋來制造和實現ION-X?產品的商業化并在全球范圍內對該產品進行分銷,雙方將結合各自的領導地位。依托我們在特種氣體領域的悠久歷史,公司計劃在位于韓國始華的生產基地設計并創建一家新的ION-X摻雜氣體填充廠。”
Versum Materials高級副總裁Ed Shober表示:“能夠與NuMat Technologies攜手合作向公司全球客戶群交付ION-X?產品,令我們十分興奮。ION-X?是一種新的差異化的發展機會,它與我們的工藝材料業務相得益彰,此外,還與我們作為特種氣體制造商和供應商的核心能力相一致。”
NuMat Technologies公司首席執行官Ben Hernandez指出:“我們很高興宣布與 Versum Materials達成此項協議,攜手實現ION-X?的全球商業化。與Versum的合作關系彰顯了NuMat差異化技術平臺與Versum在半導體行業中的運營、質量及商業領先地位的戰略匹配性。我們期望能夠履行向客戶交付價值和創新的共同使命。”