導(dǎo)語：俄羅斯烏克蘭之間的沖突正在引發(fā)對(duì)全球經(jīng)濟(jì)的擔(dān)憂，半導(dǎo)體行業(yè)也受到影響。稀有氣體作為半導(dǎo)體制造的工藝氣體再次成為各界關(guān)注的焦點(diǎn)。
半導(dǎo)體大廠就紛紛發(fā)聲：不必?fù)?dān)心太多
韓國******的兩家半導(dǎo)體公司負(fù)責(zé)人表示“不必?fù)?dān)心太多”。相信進(jìn)口來源多元化、擴(kuò)大庫存等應(yīng)對(duì)措施已做好充分準(zhǔn)備。三星電子總裁李正培表示，“我們準(zhǔn)備得很好。” SK海力士代表李錫熙則稱，“我們已經(jīng)確保了很多庫存”，并表示不必太擔(dān)心。英特爾的發(fā)言人此前也表示，氖氣供應(yīng)問題暫時(shí)未對(duì)公司業(yè)務(wù)造成影響。
美光官網(wǎng)2月15日發(fā)布最新公告稱：據(jù)我們了解，由于俄羅斯和烏克蘭之間持續(xù)的緊張關(guān)系，惰性氣體（尤其是氖氣）供應(yīng)可能中斷的報(bào)道令半導(dǎo)體行業(yè)感到擔(dān)憂。但是，美光公司所有的惰性氣體都是進(jìn)行多元化采購，氖氣供應(yīng)主要來自歐盟、美國和亞洲的各個(gè)供應(yīng)商。
美光表示:“他們保持適當(dāng)?shù)亩栊詺怏w庫存以支持業(yè)務(wù)發(fā)展，與主要供應(yīng)商簽訂了多項(xiàng)長期供應(yīng)協(xié)議，并與他們密切合作以確保供應(yīng)不間斷。我們將繼續(xù)利用我們多元化的采購和全球制造足跡，為客戶提供實(shí)現(xiàn)下一代產(chǎn)品所需的解決方案。"
據(jù)知情人士透露，美國白宮督促芯片公司要使其供應(yīng)鏈多樣化，以防俄羅斯對(duì)美國出口限制的威脅采取報(bào)復(fù)行動(dòng)，即阻止美國公司獲得氖氣在內(nèi)的半導(dǎo)體關(guān)鍵材料。金融服務(wù)公司花旗的分析師Peter Lee表示：“內(nèi)存（芯片）制造商目前持有這些關(guān)鍵氣體的6到8周庫存，高于4周的正常水平。這些氣體的供應(yīng)高度依賴烏克蘭，該地區(qū)軍事行動(dòng)造成的任何產(chǎn)出中斷都可能導(dǎo)致半導(dǎo)體生產(chǎn)受到嚴(yán)重影響。
半導(dǎo)體制造中的稀有氣體（氖）
TrendForce集邦咨詢研究顯示，DUV準(zhǔn)分子激光當(dāng)中所需要的惰性混合氣體包含氖氣，且氖氣為混合氣體當(dāng)中的必要?dú)怏w，難以取代。而半導(dǎo)體微影制程當(dāng)中需要氖氣的制程主要為DUV曝光，制程節(jié)點(diǎn)涵蓋自8英寸晶圓180nm至12英寸晶圓1Xnm。晶圓代工方面，全球180~1Xnm產(chǎn)能占整體約75%，除有提供EUV先進(jìn)制程的臺(tái)積電（TSMC）及三星（Samsung）外，多數(shù)晶圓廠180~1Xnm營收占比超過九成，且自2020年起供貨極為緊張的零組件包含PMIC、Wi-Fi、RFIC、MCU等制造制程皆落在此區(qū)間。DRAM方面，除了美光（Micron）外，韓廠正逐步加大1alpha nm（使用EUV制程）占比，但目前仍有超過九成的產(chǎn)能采用DUV制程；而NAND Flash則全數(shù)采用DUV微影技術(shù)。
中國已經(jīng)完全掌握稀有氣體精制技術(shù)
氣體圈子總經(jīng)理任路2月14日接受《環(huán)球時(shí)報(bào)》記者采訪時(shí)表示，氖、氙、氪是半導(dǎo)體制造業(yè)不可缺少的工藝氣體，供應(yīng)鏈的穩(wěn)定性極其重要，因?yàn)檫@將會(huì)嚴(yán)重影響生產(chǎn)的連續(xù)性。他表示，目前，烏克蘭依然是全球氖氣的主要生產(chǎn)國之一，由于俄烏局勢不斷升級(jí)，氖氣供應(yīng)鏈穩(wěn)定性不免引起了全行業(yè)的恐慌。任路向《環(huán)球時(shí)報(bào)》記者分析說，這三種稀有氣體是鋼鐵產(chǎn)業(yè)的副產(chǎn)品，由空氣分離設(shè)備分離生產(chǎn)。前蘇聯(lián)鋼鐵等重工業(yè)規(guī)模龐大，因此稀有氣體的分離作為附屬產(chǎn)業(yè)一直也比較強(qiáng)大。前蘇聯(lián)解體后，即演化為由俄羅斯主要進(jìn)行粗氣分離，烏克蘭境內(nèi)的企業(yè)負(fù)責(zé)精制并向全球輸出的局面。
任路表示，雖然氖、氪、氙為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)所必需，但是其絕對(duì)使用量并不高，作為鋼鐵行業(yè)的副產(chǎn)品，全球市場體量不是很大。正是在這種關(guān)注度不高的情況下，加之提純這些稀有氣體需要一定的技術(shù)門檻，且與鋼鐵行業(yè)規(guī)模深度綁定，多年來，全球市場逐漸形成了依賴于俄羅斯與烏克蘭組成的氖、氪、氙供應(yīng)鏈。中國是全球鋼鐵大國，對(duì)于這些稀有氣體的純化技術(shù)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了突破，生產(chǎn)工藝也比較成熟，不再是能夠‘卡中國脖子’的技術(shù)了。即便是發(fā)生極端情況，中國也完全可以組織緊急生產(chǎn)以保障國內(nèi)的供應(yīng)。
中國擁有強(qiáng)大的稀有氣體生產(chǎn)潛能
2月16日，盈德氣體集團(tuán)宣布“領(lǐng)氙”計(jì)劃，持續(xù)擴(kuò)大氪氙產(chǎn)能。“領(lǐng)氙”計(jì)劃將分期建設(shè)兩套氪氙精制裝置。首套裝置建成后或?qū)⒊蔀閬喬貐^(qū)單體******的氪氙精制裝置，是稀有氣體領(lǐng)域的一項(xiàng)重要里程碑。杭氧股份2月16日也在公共平臺(tái)表示，衢州杭氧特種氣體有限公司2000Nm3/a氙氣、20000Nm3/a氪氣精煉提取裝置及其配套建設(shè)項(xiàng)目預(yù)計(jì)于今年下半年完工。寶武清潔能源有限公司與浙江新銳空分設(shè)備有限公司2021年7月共同投資組建寶銳特氣體有限公司，計(jì)劃在3年內(nèi)實(shí)現(xiàn)稀有氣體產(chǎn)值翻倍，市場占有率達(dá)到************。
中國已經(jīng)是全球稀有氣體主要供應(yīng)國
根據(jù)氣體圈子發(fā)布的《2021年稀有氣體進(jìn)出口信息》，中國已經(jīng)成為全球稀有氣體供應(yīng)的主要國家。2021年中國稀有氣體（氪氖氙）主要出口至東南亞和歐美等國家。氖氣出口量為6.5萬立方，60%出口至韓國；氪氣出口量為2.5萬立方，37%出口至日本；氙氣出口量為900立方，30%出口至韓國。
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