11月11日訊，國家科技部重點研發專項——“微納電子制造用超高純電子氣體”項目啟動會昨日在浙江衢州召開。

國家科技部高技術中心材料處專項主管楊斌向獲得國家重點研發“微納電子制造用超高純電子氣體”的項目團隊表示祝賀。“國家重點研發計劃實施以來，在管理上發生了很大的改革和變化，已從原來過程監控管理轉變為目標管理、靜態管理變為動態管理、階段性管理變成全過程跟蹤管理。”楊斌強調，要發揮項目牽頭承擔單位法人的主體責任，與協作單位共同推動項目的發展。

微納電子制造用超高純電子氣體

研究內容：研究超高純電子氣體提純/除雜/純化原理與制備方法、特定元素控制技術及全流程工藝優化集成技術，研制開發微納電子制造用氯氣、氯化氫、氟化氫等超高純電子氣體，突破5N級氣體制備技術及關鍵裝備技術、ppm級氣體雜質和ppb級金屬離子檢測技術、生產環境和顆粒控制技術以及產品包裝與應用技術。

考核指標：超高純氣體氯氣、氯化氫純度5N～7N，其中單種氣體雜質（如H2O、O2、CO2、CO、CH4）＜1.0 ppmv，單種金屬雜質（如Al、Cr、Cd、Cu）＜1.0 ppbw；超高純氣體氟化氫純度不低于5N，其中單種金屬雜質（如Al、Cr、Cd、Cu）＜1.0 ppbw。

微納電子制造核心材料急需國產化

微納電子先進制程正向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發展，對電子氣體的品質也提出更高的要求。Cl?、HCl 和HF 等電子氣體產品是微納電子制造的核心材料，具有強烈嗜水性、腐蝕性和反應性，其提純除雜、包裝、檢測對材料、設備的耐蝕性要求嚴苛，高純制備核心技術為跨國公司壟斷并嚴密封鎖，“國產化”需求迫切，急需國內有研發與產業化實力的單位牽頭進行技術攻關與工程化開發。

科技部重點研發專項“微納電子制造用超高純電子氣體”

“微納電子制造用超高純電子氣體”是2017年國家重點研發計劃“戰略性先進電子材料”專項項目，由巨化集團下屬全資子公司浙江博瑞電子科技有限公司牽頭，聯合浙江師范大學、浙江氟硅技術研究院、浙江凱圣氟化學有限公司、中芯國際集成電路制造（上海）有限公司、深圳市華星光電技術有限公司和浙江工程設計有限公司等6家單位共同申報，并于今年8月獲得國家科技部立項支持，用以解決Cl?、HCl和HF高純制備中影響氣體純度與一致性的關鍵共性科學問題和技術瓶頸為研究目標，突破Cl?、HCl和HF的提純除雜、檢測、包裝工藝，實現超高純Cl?、HCl和HF電子氣體的工業化制備和制程應用，促進微納電子制造用戰略性先進材料的國產化。