現(xiàn)場氮?dú)獍l(fā)生器：氮?dú)馐枪S消耗最多的氣體，需要在第一批工具入場前提供。大型顯示屏工廠與大型半導(dǎo)體工廠一樣，需要大量的氮?dú)猓挥鞋F(xiàn)場制備才比較經(jīng)濟(jì)。

低溫液體拖車：氧氣、氬氣和二氧化碳非現(xiàn)場生產(chǎn)，作為低溫液體，它們通過特種真空絕緣儲罐短途運(yùn)輸。

壓縮氣體拖車：氫氣和氦氣等其他大容量的壓縮氣體，通過拖車或ISO儲罐經(jīng)長距離運(yùn)輸供應(yīng)。

獨(dú)立包裝：特種氣體通過獨(dú)立包裝供應(yīng)。對于硅烷和三氟化氮等體積較大的材料，可以采用大型ISO包裝供貨，容量可達(dá)10噸，體積較小的材料采用標(biāo)準(zhǔn)氣瓶。

混合氣體：激光氣體和摻雜劑以幾種不同氣體混合物的形式供應(yīng)。要將顯示屏件制造保持在可接受的參數(shù)范圍內(nèi)，混合產(chǎn)品的精度至關(guān)重要。

廠內(nèi)分布：即使在材料交付或生產(chǎn)完成后，仍然需要供應(yīng)氣體。在交付給各生產(chǎn)流程前，需對材料進(jìn)行進(jìn)一步過濾、純化和在線分析。

結(jié)語

由于消費(fèi)者青睞色彩越來越鮮艷、分辨率越來越高、功耗越來越低的顯示屏，顯示屏制造商將面臨挑戰(zhàn)，必須提升所采用的技術(shù)，開發(fā)新型顯示屏，如靈活和透明的顯示屏。這些新型顯示屏的晶體管將采用LTPS和/或MO，因此目前在這些工藝中的氣體使用量將繼續(xù)增加。考慮到目前的a-Si顯示屏生產(chǎn)情況，生產(chǎn)LTPS單位玻璃面積氣體消耗量將增加25％，生產(chǎn)MO增加約50％。

為了滿足這些日益增長的需求，氣體供應(yīng)商需要與顯示屏制造商緊密合作，確定哪些技術(shù)能夠滿足其技術(shù)需求，為客戶提供穩(wěn)定且具有成本效益的氣體解決方案。